개발제품소개

자동화시장을 선도하는 핵심제품 소개

진공질소 치환

이론적 논리

진공질소 치환시스템은 일본 TMT사와 당사 협업적으로 개발한 것으로 종래의 진공 도달시간을 획기적으로 줄일 수 있어 고객사의 운영비 절감 및 생산성, 품질 향상을 도모할 수 있습니다. 건조한 N2가스의 퍼지와 치환을 반복함으로써 시스템 표면에 부착한 수분의 기화를 촉진시켜, 소정의 진공도에 도달하는 시간을 대폭 단축시킬 수 있습니다.

치환 반복 시스템

N2가스의 퍼지와 치환을 반복하는 시스템으로 표면에 부착한 수분의 기화를 촉진시키고, 소정의 진공도에 도달하는 시간을 단축시킵니다.
잔유 수분을 재빨리 제거하고 진공도의 저하속도를 빠르게 합니다.

치환 반복 시스템

치환 반복 시스템을 영상으로 확인하실 수 있습니다.

질소치환

질소치환으로 진공도 도달시간이 단축되는 논리입니다.
질소치환 방식으로 진공도달시간을 단축시킴으로써, 컴팩트한 라인 설계 및 생산성 향상, 운영비 절감을 실현 할 수 있습니다.
  • 배관표면 요철부에 들어간 비용축성가스와 수분은 진공배기로도 좀처럼 나오지 않습니다.
  • 진공시간이 단축됩니다.
열에너지를 재활용함으로써 소비전력을 종래보다
30~50% 삭감합니다.